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第八十六章 质疑剽窃（第2页）

结果他们这还在实验中的方案，现在却见这里已经拿出了成品，当然就想要问清楚。

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林奔坚对此也是一头雾水，好在他脑子里面还有理智，没有选择直接跳出来。

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而是在徐教授发完言下台后，赶忙就带着阿斯麦的人，找到了徐教授。

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“徐教授，我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的？”

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徐教授之前听李皓提起过这位，也听过他的一些研究方向。

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所以对于他的质问，并没有太过意外：“这个自然是我们基于浸没式光刻技术，自行研发出来的成果，有什么问题吗？”

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浸没式光刻起源于浸润式显微镜，是由一个意大利科学家在1855年发明的。

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相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶，这个显微镜的功能则是将图案放大到d探测器。

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虽然是两个不同的领域，但根本的原理却是相通的，所以徐教授这么说也没问题。

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可是架不住林奔坚不信啊，质疑道：“真的是这样吗？我记得之前，曾经有一位大陆人接触过我，希望我能加入到国内的实验室工作。

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虽然当时他并没有说哪家实验室，但看现在情况，他应该和您是一起的吧。

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您可能还不知道，我已经和阿斯麦公司达成了合作，也正在研究浸没式光刻机。”

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听到这话，徐教授也是不由皱起了眉头：“所以你是怀疑，我们偷取了你的研究成果？这简直就是个笑话。

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就不说浸没式的概念，早在个世纪就有人提出过，就算是有关光刻机的具体理论，也是在1980年，由列支敦士登公国的arelli和each提出。

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并且还在美国申请了专利，这个和你好像也没什么关系吧，所以你指的偷取成果是从何而来。”

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这话堵得正中核心，毕竟老美自己的专利认可，它们总不能来自打嘴巴。

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徐教授这里聚集了一堆人，也让在后面关注的李皓注意到了。

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于是便走了过来，询问发生了什么事情。

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徐教授不客气的说道：“这位是台岛的林奔坚教授，刚刚质疑我们剽窃成果。”

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“林教授，之前你虽然没有接受邀请，但谈的也算是愉快，不用这么有敌意吧。”